वेफर क्लीनिंग क्या है? फ़ोन:+086-592-5803997
वेफर सफाई एक महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रक्रिया है जो गीले रासायनिक स्नान (जैसे आरसीए क्लीन) का उपयोग करके सिलिकॉन वेफर्स से कणों, कार्बनिक पदार्थों और धातु संदूषकों को हटाती है।,H₂SO₄/H₂O₂), सॉल्वैंट्स (एसीटोन, मेथनॉल), हाइड्रोफ्लोरिक एसिड (HF), और मैकेनिकल स्क्रबिंग या मेगासोनिक तरीकों के साथ पिरान्हा ईच, इसके बाद माइक्रोचिप निर्माण के लिए दोष मुक्त सतहों को सुनिश्चित करने के लिए अल्ट्रा{0}शुद्ध पानी से कुल्ला और नाइट्रोजन सुखाने के साथ, सटीकता के लिए बैच डिपिंग से लेकर एकल{2}वेफर छिड़काव तक की प्रक्रियाओं के साथ।
हाइड्रोफ्लोरोएथर HFE347शून्य ओडीपी, कम जीडब्ल्यूपी, गैर ज्वलनशीलता और शून्य अवशेष का संयोजन, तेजी से फैब इंजीनियर का नया पसंदीदा बन गया है और अब इसे पारंपरिक तरीकों के लिए एक शक्तिशाली पूरक और अपग्रेड माना जाता है।
वेफर सफाई प्रक्रिया फ़ोन:+086-592-5803997
| वेफर सफाई कदम | उद्देश्य |
|---|---|
| प्री-डिफ्यूजन क्लीन | एक ऐसी सतह बनाता है जो धातु, कण और कार्बनिक संदूषकों से मुक्त होती है। कुछ मामलों में, देशी ऑक्साइड या रासायनिक ऑक्साइड को हटाने की आवश्यकता होती है। |
| धात्विक आयन निष्कासन स्वच्छ | धातु आयनों को हटा दें, जो डिवाइस संचालन पर हानिकारक प्रभाव डाल सकते हैं। |
| कण हटाना साफ़ | मेगासोनिक सफाई का उपयोग करके रासायनिक या यांत्रिक स्क्रबिंग का उपयोग करके सतह से कणों को हटा दें। |
| पोस्ट ईच क्लीन | नक़्क़ाशी प्रक्रिया के बाद बचे फोटोरेसिस्ट और पॉलिमर को हटा दें। "ईच पॉलिमर" सहित फोटोरेसिस्ट और ठोस अवशेषों को हटा दें। |
| फिल्म हटाना साफ़ | सिलिकॉन नाइट्राइड नक़्क़ाशी/पट्टी, ऑक्साइड नक़्क़ाशी/पट्टी, सिलिकॉन नक़्क़ाशी, और धातु नक़्क़ाशी/पट्टी |
पारंपरिक सफाई की सीमाएँ और एचएफई की रणनीतिक भूमिका फ़ोन:+086-592-5803997
क्लासिक आरसीए वेफर सफाई प्रक्रिया उच्च तापमान, उच्च शुद्धता वाले जलीय रासायनिक समाधान (उदाहरण के लिए, एससी -1, एससी -2) पर निर्भर करती है। आयनों, धात्विक संदूषकों और कणों को हटाने में उत्कृष्ट होते हुए भी, इस प्रक्रिया की दो अंतर्निहित सीमाएँ हैं:
विशिष्ट कार्बनिक संदूषकों जैसे फोटोरेसिस्ट अवशेष, वैक्यूम पंप तेल, सिलिकॉन ग्रीस और सटीक घटकों से उन्नत स्नेहक के खिलाफ सीमित प्रभावकारिता।
"पानी" सुखाने की चुनौती: पानी की उच्च सतह का तनाव अंतिम सुखाने के चरण के दौरान एक गंभीर जोखिम पैदा करता है, जिससे अक्सर पैटर्न ढह जाता है और वॉटरमार्क अवशेष, विशेष रूप से उच्च {{0} पहलू {{1} अनुपात संरचनाओं पर।
एचएफई 347, एक उन्नत हाइड्रोफ्लोरोईथर विलायक के रूप में, अपने अद्वितीय भौतिक रासायनिक गुणों के माध्यम से इन दर्द बिंदुओं को सीधे संबोधित करता है, खुद को "सटीक सूखी-में-गीली सफाई" के लिए आदर्श माध्यम के रूप में स्थापित करता है।
वेफर सफाई हाइड्रोफ्लोरोएथर HFE347 की बुनियादी जानकारी
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एचएफई (हाइड्रोफ्लोरोएथर) हाइड्रोजन, फ्लोरीन, कार्बन और ऑक्सीजन से बना कार्बनिक यौगिकों का एक वर्ग है, जो ईथर बांड (आर {{0} ओ - आर ') और फ्लोरोएल्काइल संरचनाओं को जोड़ता है। इसे पर्यावरणीय प्रभावों (जैसे ओजोन परत की कमी और ग्लोबल वार्मिंग क्षमता) को कम करते हुए फ्लोरिनेटेड सॉल्वैंट्स के उत्कृष्ट प्रदर्शन को बनाए रखने के लिए डिज़ाइन किया गया है। एचएफई का व्यापक रूप से सटीक सफाई एजेंट, शीतलक, विलायक वाहक आदि के रूप में उपयोग किया जाता है, खासकर इलेक्ट्रॉनिक्स, अर्धचालक और एयरोस्पेस क्षेत्रों में।
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रासायनिक नाम: |
1,1,2,2-टेट्राफ्लुओरोइथाइल 2,2,2-ट्राइफ्लुओरोइथाइल ईथर |
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कैस: |
406-78-0 |
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एमएफ: |
C4H3F7O |
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मेगावाट: |
200.05 |
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ईआईएनईसीएस: |
609-858-6 |
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रासायनिक गुण |
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क्वथनांक |
56.2 डिग्री |
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घनत्व |
1.487 |
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अपवर्तनांक |
1.276 |
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विशिष्ट गुरुत्व |
1.487 |
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CAS डेटाबेस संदर्भ |
406-78-0(सीएएस डाटाबेस संदर्भ) |
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ईपीए पदार्थ रजिस्ट्री प्रणाली |
एचएफई-347पीसीएफ2 (406-78-0) |
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परीक्षण चीज़ें |
विशेष विवरण |
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उपस्थिति |
साफ़ रंगहीन तरल |
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पवित्रता |
99.5% से अधिक या उसके बराबर |
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पानी |
100 पीपीएम से कम या उसके बराबर |
सेमीकंडक्टर वेफर सफाई एचएफई 347 फैक्टरी टूर फ़ोन:+086-592-5803997
सेमीकंडक्टर सफ़ाई आपूर्तिकर्ता - कंपनी प्रोफ़ाइल फ़ोन:+086-592-5803997
ज़ियामेन जूडा केमिकल एंड इक्विपमेंट कं, लिमिटेड एक रणनीतिक उद्यम है जिसे चीन के फ्लोरोकेमिकल उद्योग में अग्रणी जुहुआ ग्रुप - द्वारा उच्च {{4}अंत इलेक्ट्रॉनिक सामग्री क्षेत्र में आगे बढ़ने के लिए निवेश किया गया है।
समूह की पूर्ण औद्योगिक श्रृंखला की ताकत का निर्माण, मौलिक फ्लोरीन फीडस्टॉक्स से लेकर उन्नत फ्लोरोपॉलिमर तक, और इसकी दीर्घकालिक प्रौद्योगिकी विशेषज्ञता का लाभ उठाते हुए, जूडा का लक्ष्य अंतरराष्ट्रीय आपूर्ति बाधाओं को दूर करना और कोर इलेक्ट्रॉनिक सामग्रियों में आत्मनिर्भरता प्राप्त करना है। कंपनी सेमीकंडक्टर, इंटीग्रेटेड सर्किट और अन्य परिष्कृत इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगों के उत्पादन के लिए आवश्यक उच्च प्रदर्शन फ्लोरीन आधारित समाधान प्रदान करने में माहिर है।
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