FFKM एक उच्च प्रदर्शन वाली सीलिंग सामग्री है। इसके उत्कृष्ट प्रदर्शन ने इसके अनुप्रयोग को सेमीकंडक्टर उत्पादों की संपूर्ण विनिर्माण प्रणाली में प्रवेश करने की अनुमति दी है। उनमें से, FFKM सीलिंग रिंग एकीकृत सर्किट के उत्पादन के लिए आवश्यक मुख्य उपभोग्य सामग्रियों में से एक है।
एफएफकेएम की संरचना और प्रदर्शन विशेषताएँ
एफएफकेएम को टेट्राफ्लुओरोएथिलीन (टीएफई), परफ्लुओरोएल्काइल विनाइल ईथर (पीएवीई) मुख्य मोनोमर्स और थोड़ी मात्रा में क्योर पॉइंट मोनोमर (सीएसएम) द्वारा सहबहुलकीकृत किया जाता है। जैसा कि नीचे दिए गए चित्र में दिखाया गया है, पॉलिमर में सभी कार्बन परमाणु रबर पर हाइड्रोजन परमाणुओं को फ्लोरीन परमाणुओं द्वारा प्रतिस्थापित किया जाता है, जिससे यह एक ऐसा रबर बन जाता है जिसमें सीएच बॉन्ड बिल्कुल नहीं होते हैं।
एफएफकेएम की मुख्य प्रदर्शन विशेषताएं:
1) भौतिक गुण
FFKM का घनत्व 1.9-2.0g/cm³ है। इसके सामान्य तापमान यांत्रिक गुण विनाइलिडीन फ्लोराइड (VDF)-आधारित फ्लोरोरबर (FKM) के करीब हैं, लेकिन इसके उच्च तापमान यांत्रिक गुण फ्लोरोरबर से बेहतर हैं।
2) रासायनिक प्रतिरोध
एफएफकेएम आण्विक श्रृंखला में कोई हाइड्रोजन परमाणु नहीं होते हैं, तथा सीसी बंध मूलतः एफ परमाणुओं से बने आवरण से घिरे होते हैं, जो प्रबल रासायनिक निष्क्रियता दर्शाते हैं तथा बहुलक को रसायनों के प्रति महत्वपूर्ण रूप से प्रतिरोधी बनाते हैं।
3) उच्च और निम्न तापमान प्रतिरोध
एफएफकेएम का ऑपरेटिंग तापमान आम तौर पर 260 ~ 290 डिग्री है, और इसे 316 डिग्री के उच्च तापमान पर रुक-रुक कर इस्तेमाल किया जा सकता है। चूंकि बड़ी संख्या में -OCF3 समूहों को अणुओं की शाखा श्रृंखलाओं में पेश किया जाता है, इसलिए अणुओं की लचीलापन में सुधार होता है और रबर के कम तापमान प्रतिरोध में सुधार होता है।
4) प्लाज्मा प्रतिरोध
प्लाज्मा वातावरण में, यह उच्च स्वच्छता और कम वर्षण की उत्पाद विशेषताओं को प्रदर्शित करता है, और लंबे समय तक प्लाज्मा बमबारी का सामना कर सकता है।
अर्धचालकों में fFKM का अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर निर्माण में, इलास्टोमेरिक सील की विश्वसनीयता महत्वपूर्ण है क्योंकि सील को बदलने के लिए उत्पादन बंद करना बेहद महंगा है। संभावित जोखिमों से बचने के लिए, सील की सफाई और शुद्धता की आवश्यकताएं बहुत सख्त हैं। साथ ही, सील को उच्च तापमान, उच्च वैक्यूम और संक्षारक रासायनिक गैसों के दबाव वाले वातावरण में लंबे समय तक काम करने में सक्षम होना चाहिए।
अर्धचालक अनुप्रयोगों के संदर्भ में, एफएफकेएम मुख्य रूप से निम्नलिखित पर ध्यान केंद्रित करता है:
1) गैस सील: सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, विभिन्न गैसों का प्रसंस्करण और परिवहन आवश्यक है। FFKM O रिंग का उपयोग गैस पाइपलाइनों, वाल्वों और जोड़ों को सील करने के लिए किया जाता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि गैस लीक न हो और प्रक्रिया स्थिरता बनाए रखे।
2) नक़्काशी और सफाई: अर्धचालक प्रक्रियाओं में नक़्काशी और सफाई के चरणों में अक्सर संक्षारक मीडिया जैसे कि मजबूत एसिड या क्षार का उपयोग शामिल होता है। FFKM O रिंग का उपयोग इन मीडिया के संपर्क में आने वाले उपकरण भागों में व्यापक रूप से किया जाता है, जैसे कि नक़्काशी कक्ष, सफाई टैंक, आदि उनके उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध के कारण।
3) तरल और रासायनिक परिवहन: अर्धचालक विनिर्माण में, विभिन्न तरल पदार्थों और रसायनों को परिवहन की आवश्यकता होती है, जैसे समाधान, सॉल्वैंट्स, सफाई तरल पदार्थ, आदि। एफएफकेएम ओ रिंग का उपयोग मीडिया के सुरक्षित वितरण को सुनिश्चित करने के लिए पाइप, वाल्व और पंप जैसे उपकरण घटकों को सील करने के लिए किया जा सकता है।
4) उच्च तापमान वातावरण: अर्धचालक प्रक्रिया में कुछ चरणों को उच्च तापमान वातावरण में निष्पादित करने की आवश्यकता होती है, जैसे कि गर्मी उपचार, एनीलिंग, आदि। एफएफकेएम ओ-रिंग में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध होता है और वे उच्च तापमान पर अपनी लोच और सीलिंग गुणों को बनाए रखने में सक्षम होते हैं।
5) अल्ट्राप्योर वाटर ट्रीटमेंट: सेमीकंडक्टर निर्माण में, अल्ट्राप्योर वाटर का उपयोग उपकरणों और सामग्रियों को साफ करने और शुद्ध करने के लिए किया जाता है। FFKM O-रिंग का व्यापक रूप से अल्ट्राप्योर वाटर ट्रीटमेंट उपकरणों को सील करने के लिए उपयोग किया जाता है ताकि अशुद्धियों और दूषित पदार्थों के प्रवेश को रोका जा सके।
एफएफकेएम रबर कच्चे माल की उच्च लागत के कारण, जहां एफएफकेएम सील का आमतौर पर उपयोग किया जाता है, वहां काम करने की स्थितियां बेहद कठोर होती हैं। इन कठोर कार्य स्थितियों के तहत, अन्य रबर जंग, सूजन, विघटन, उम्र बढ़ने और सख्त होने आदि के लिए प्रवण होते हैं, जिसके परिणामस्वरूप सीलिंग विफल हो जाती है और इसलिए सीलिंग आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकती है। अपने उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण, एफएफकेएम रबर न केवल कठोर कार्य स्थितियों की सीलिंग आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है, बल्कि सील की सेवा जीवन को भी बढ़ा सकता है और ग्राहकों की रखरखाव लागत को कम कर सकता है।
